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技術文章

介紹薄膜測厚儀的測試原理及操作方法

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 　　薄膜測厚儀是一種常用的薄膜厚度檢測方法，采用機械接觸式測量標準，適用于2mm范圍內各種薄膜、復合膜、紙張、金屬箔片等硬質和軟質材料厚度準確測量，誤差小，操作簡單方便，滿足GB/T 6672《薄膜和薄片厚度測定 機械測量法》等標準。
　　薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離。對于微電子薄膜而言，如光學薄膜，抗氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導薄膜等，其厚度是一個非常重要的參數，直接關系到該薄膜材料能否正常工作。除此之外，薄膜的厚度也會直接影響到薄膜材料的力學性能，透光性能，磁性能，熱導率，表面結構等。
　　測試原理
　　將預先處理好的薄型試樣的一面置于下測量面上，與下測量面平行且中心對齊的上測量面，以一定的壓力，落到薄型試樣的另一面上，同測量頭一體的傳感器自動檢測出上下測量面之間的距離，即為薄型試樣的厚度。
　　薄膜測厚儀操作方法介紹
　　根據國標中的要求，對同一張薄膜選取10個測試點，薄膜厚度測量方法如下：
　　1、將兩個激光傳感器分裝在薄膜試樣的上下方，把傳感器固定在支架上。
　　2、打開儀器，設置參數，放置對比量塊，點擊“確認”。
　　3、取走滑塊，重新設置與步驟（2）相同的參數，放入薄膜試樣。
　　4、分別取10個不同的點，位置盡量錯開，避免因距離太近影響數據。
　　5、測量值通過串口傳輸到計算機，再通過在計算機上的測厚軟件進行處理，得到目標的厚度值。
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